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真空ろう付け

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真空ろう付け

コンテンツ

耐熱合金、ステンレス鋼、鉄系合金、アルミ合金、銅合金を真空ろう付けし、Heリークレベルの気密性を実現します。

真空ろう付けとは

ステンレスやニッケル、銅の母材にろう材(Niろう、Agろう)を塗布し、真空中で加熱して金属同士を接合する技術です。アルミ材のろう付け(アルミろう材使用)も可能です。

真空ろう付けの特徴

  • 複雑な形状の接合や多数箇所の同時接合が可能です。
  • 全体加熱により、低歪で精度の高い接合が可能です。
  • 真空中で接合する為、酸化膜が形成されず見栄え良く接合できます。
  • 真空中による脱ガス作用で、接合部に気泡が残りません。
  • フラックスを使わないので、汚染が無く光輝処理が可能です。

当社製品の特徴

  • 耐熱合金、ステンレス鋼、鉄系合金、アルミ合金、銅合金の接合が可能です。
  • 複数の流体を混ざらないような三次元立体流路構造体や、デッドスペースなく加熱または冷却する流路を持つ構造体の設計・製作が可能です。

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  • 研磨加工技術や機械加工技術、表面処理技術とのコーディネートが可能です。

真空ろう付け品の事例

薄板の積層ろう付け

薄板の積層ろう付け

当社では、肉厚50μmの薄肉パイプのろう付けや薄板の積層ろう付けが得意です。製作例としてMFC(質量流量計)用センサーパイプ、空圧機器用部品、静電チャック基材のほか、熱交換器、搬送治具、マルチシャワーヘッドなどの複雑な流路構成部品の製作が可能です。

MOCVD装置用シャワープレート接合断面

MOCVD装置用シャワープレート接合断面 孔数 5200孔 孔径 φ0.6mm

MOCVD用シャワープレート 成膜イメージ

MOCVD用シャワープレート 成膜イメージ

マスフローコントローラー用薄肉パイプ接合

マスフローコントローラ用薄肉パイプ接合 パイプ径 外径φ0.4mm 内径φ0.3mm

大型真空炉

大型真空炉 幅800mm×奥行1,300mm×高さ800mm

金・銀ろう付け

当社では、金・銀ろう材を用いた接合も可能です。銅-ステンレス、銅-銅、銅-セラミックなどの異材接合に用いられます。加熱は真空炉の他、高周波誘導炉でのろう付けも社内で可能です。



 

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ニッコーシ株式会社 営業部 03-6362-8851